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什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，欢迎客户来电！上海光谱共焦视觉检测传感器厂家
优势??非接触三维表面轮廓测量??噪音小，测量重复性好??纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm??测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点??点间距小，XY分辨率高??多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野??测量速度快，可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息上海2D 测量传感器技术膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控，非接触测量，适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5µm。
ENITH控制器采用比较高质量标准制造，是一款坚固可靠的产品，可满足车间环境（如实验室）中**苛刻的应用，是工业环境中光谱共焦控制器的全新选择。ZENITH控制器的柔性测量，可以将被测产品造成损害的可能性降低到零。基于以太网通讯，ZENITH可以在非接触的情况下实现高精度的测量，而不会对被测产品造成任何损坏。ZENITH框架紧凑，结构稳固，专为7天24小时全天候使用而设计。2ZENITH能够在各种类型的材料和物体表面进行超高分辨率的距离和厚度测量，包括各种反射性材料。3高频率采样是ZENITH与编码器（**多5个）结合用于外部测量同步的动态应用的理想选择之一。4ZENITH的控制器可兼容所有MARPOSSSTIL光学笔：CL-MG、OP、ENDO和EVEREST，实现达纳米级精度的计量表现。
Irix?彩色共焦技术?适用于多种应用领域：汽车玻璃玻璃容器与包装工业电子工业（PCB）半导体工业（硅片）用于测量卷对卷、透明和非透明薄膜（例如EV电池盖）的应用3C行业电动汽车工业（电池）机器人学微观力学医学航空手表用于轮廓测量的倾斜角度高达±45°的光学元件用于缩小尺寸设备的缩小直径为4毫米、6毫米和8毫米的光学元件7“集成显示器，具有易于使用的实验室用图形界面2个同步通道，用于卷对卷应用中的非透明目标厚度测量同步测量与编码器精确轮廓重建。3个编码器输入（TTL和HTL型号）2个模拟输出（0÷10V）多达32个校准图以CSV格式保存数据光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，让您满意，欢迎您的来电哦！
在半导体行业应用：LED芯片三维测量LED晶圆光学检测BGA半导体封装光伏晶圆表面形貌测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件，即使它们位于移动产线上、在高温环境中，甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少，因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此，对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用，它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟，具有高度重复性。这样可以控制高达100％的涂层部件，严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状粗糙度测量符合ISO标准25178-602传感器适用任何反射表面；通过塑料或玻璃等透明层。上海马波斯传感器原理
使用简单，拆装方便，扫描速度快，定位精度高重复精度±0.5~±1µm；稳定性高，抗干扰能力强。上海光谱共焦视觉检测传感器厂家
而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜，延长不同颜色光的焦点光晕范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜，返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上，小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱，也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强，在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面，需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅，可以根据反射光的波长，增强或减弱折射率。因此，CCD矩阵上的每一个位置，对应一个测量物体到探头的距离。上海光谱共焦视觉检测传感器厂家
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